微粒子分析分野

微粒子分析分野

• トータル・ホログラフィック・キャラクタリゼーション^Ⓡ（THC）を用いたCMPスラリー中のパットデブリ（破片）の定量測定
• トータル・ホログラフィック・キャラクタリゼーション^Ⓡ（THC）を用いたCMPスラリーの品質評価方法
• トータル・ホログラフィック・キャラクタリゼーション^Ⓡ（THC）を用いた蛋白質凝集体の検出、識別、定量（個数カウント）
• トータル・ホログラフィック・キャラクタリゼーション^Ⓡ（THC）を用いた洗剤、エマルションの測定
• トータル・ホログラフィック・キャラクタリゼーション^Ⓡ（THC）を用いたCMPスラリー中の粗大粒子の検出